«Тетрадон»: глубокая модернизация
Модернизировали неработающую лабораторную установку напыления на фотоэлементы: высоковакуумная откачка, двухканальный газонапуск, контроль состава среды.
Почему «подходящий» по каталогу турбомолекулярный насос не обеспечивает процесс
Разбираем, где теряется быстрота откачки между паспортом насоса и камерой, и как считать систему целиком.
Diagnostic mirrors for ITER: research in the frame of ITPA
Итоги многолетней программы ITPA по первым зеркалам оптических диагностик ИТЭР: деградация, очистка, защита.
НИА разрабатывает собственную установку напыления
Магнетронная установка под задачи заказчиков в энергетике: от расчёта источника до сборки на своей площадке.
Как считают неравномерность плёнки до изготовления магнетрона
Расчёт распределения толщины по подложке ещё на этапе проектирования источника — и что он даёт заказчику.
Инженерная поддержка АСУ ТП диагностики ИТЭР
Инженерная поддержка АСУ ТП диагностических систем: SDD-файлы для CODAC, ПЛК, независимая экспертиза; техническая документация на верхние порты.
«Гурами»: установка напыления с нуля под Na-ion
Спроектировали и собрали установку под новый катодный материал: камера, источники, автоматика, запуск на площадке.
«Этна-100»: модернизация плазмохимического травления
Расчёт эрозии кварцевого реактора индуктора, новый столик с охлаждением, регламент замены и обслуживания.
Физика и технология плазменных эмиссионных систем
Монография по плазменным эмиссионным системам: физика разряда, конструкции источников, технологические применения.
Доклад на конференции «Вакуумная наука и техника»
Никита Бабинов представил протяжённый планарный магнетрон с расширенной зоной эрозии для повышения коэффициента использования мишени.
Модернизация или новая установка: как считать выгоду
Методика сравнения: ресурс узлов, стоимость простоя, риски интеграции — на примере трёх заводских кейсов.
«НИА Инновации» — резидент Сколково
Статус резидента получен по направлению моделирования процессов напыления.