НИА разрабатывает собственную установку магнетронного напыления

НИА Инжиниринг начала разработку собственной серийной установки магнетронного напыления. Компания, которая до сих пор проектировала установки под конкретные задачи заказчиков и модернизировала чужое оборудование, собирает накопленный опыт в собственный продукт — конфигурируемую платформу для лабораторий, R&D-центров и мелкосерийного производства.

В основе — решения, отработанные на заказной установке «Гурами» и при модернизации «Тетрадона»: управляемая вакуумная среда, раздельный газонапуск, контроль состава на масс-спектрометре, кварцевый контроль толщины в процессе и единая АСУ ТП. Ключевое отличие от сборки «из каталога» — параметры плёнки закладываются расчётом в собственном ПО моделирования осаждения, которое компания ведёт с 2021 года, а не подбираются перебором.

«Мы годами проектировали установки под конкретные задачи и модернизировали чужое оборудование. Логичный следующий шаг — собрать этот опыт в собственный продукт: установку, которую мы знаем до последнего узла и можем обслуживать сами, а не зависеть от недоступного производителя».

Установка рассчитана на тонкоплёночные покрытия под задачу: упрочняющие и износостойкие (для инструмента и оснастки), оптические (для оптики, дисплеев, солнечных панелей), диэлектрические и проводящие (для электроники и печатных плат), а также исследовательские многослойные структуры под НИОКР. Эти процессы команда уже отрабатывала в проектах — от катодов натрий-ионных аккумуляторов до покрытий на фотоэлементы.

Собственный продукт — это ещё и вопрос доступности: установку проектируют, собирают и обслуживают в России, без привязки к производителю, до которого сегодня не дотянуться. А то, что параметры плёнки закладываются расчётом в собственном ПО, означает предсказуемый результат ближе к первому запуску, а не подбор перебором.

Сейчас установка в разработке: целевые параметры — ориентир на основе установок НИА и отраслевых аналогов, финальная конфигурация и модельный ряд определяются. Это следующий шаг компании — от инженерной поддержки и заказных проектов к собственному продукту, который команда знает до узла и сможет обслуживать сама.