Турбомолекулярные насосы
Задают рабочий вакуум под газовой нагрузкой. Подбираем по быстроте в точке камеры, а не по номиналу на фланце.
Форвакуумные насосы
Форвакуумная ступень определяет, в какой области работает турбомолекулярный насос. Сухие спиральные — для чистых процессов без паров масла.
Источники питания магнетронов
Режим DC, импульсный или ВЧ определяет скорость и стабильность реактивного процесса. Подбираем под мишень и режим.
Мишени для напыления
Чистота и плотность мишени уходят прямо в плёнку. Партия проходит входной контроль до отгрузки.
Масс-спектрометры и толщиномеры
Контроль остаточной среды и толщины слоя — то, что делает процесс измеримым, а не заявленным.
Вакуумная арматура и клапаны
Затворы и клапаны задают проводимость тракта и герметичность — слабое место чаще здесь, чем в насосе.
Контроллеры расхода газа (MFC)
Точность и повторяемость газонапуска — основа воспроизводимого реактивного процесса.
Магнетроны и комплектующие
Магнетроны, экраны и уплотнения под геометрию вашей камеры и материал мишени.