Установки магнетронного напыления
Новые установки и доводка действующих: магнетроны, газовый тракт, откачка, расчёт равномерности покрытия под подложку.
Установки плазмохимического травления
Модернизация установок травления: замена кварцевого реактора по расчёту эрозии, столик с охлаждением, регламент замены и обслуживания.
Установки отжига в контролируемой среде
Изготовление по КД заказчика, АСУ ТП и пусконаладка: программа процесса и автоматический выход на режим.
Многослойные оптические покрытия
Технология многослойных интерференционных покрытий: контроль толщины слоёв и воспроизводимость.
Модернизация и дооснащение оборудования
Возвращаем в строй и расширяем действующие установки: откачка, газонапуск, диагностика, новая АСУ — без замены всей машины.
Разработка установки под процесс
Установка с нуля под задачу заказчика: от ТЗ и расчётов до изготовления и пусконаладки.
Разработка и модернизация АСУ ТП
Системы управления вакуумно-плазменными установками: логика процесса, интерфейс оператора, журналирование, интеграция узлов.
Инженерное моделирование и расчёты
Расчёт откачки, эрозии, равномерности осаждения, тепловых режимов и электромагнитных полей до изготовления; моделирование осаждения — в собственном ПО.