Установки магнетронного напыления под ваш процесс
Проектируем, строим и модернизируем под ваш материал, число слоёв и формат подложки. Равномерность считаем до изготовления — и проверяем измерением на приёмке.
Установку определяет не мощность магнетрона, а состав, равномерность и повторяемость
Пять параметров задают всю конструкцию: от числа источников до логики АСУ. Пройдите по своей задаче — рядом с каждым написано, что именно он определяет в конструкции.
Строим новую установку — или доводим ту, что уже стоит в цехе
Обе работы мы делаем в одинаковом объёме, и выбор между ними — не вопрос бюджета, а вопрос того, идёт ли на существующей установке ваш процесс хотя бы принципиально.
Класс процесса вы уже выбрали — дальше решает метод.
Магнетронное напыление умеют почти все, кто делает вакуумное оборудование. Разница в том, считают ли равномерность и режим до изготовления — или подбирают их потом, на вашей установке и за ваше время. Поэтому дальше мы показываем метод, а не список компетенций.
Равномерность считаем до изготовления, а не подбираем на вашей установке
С 2021 года распределение толщины покрытия мы моделируем в собственном ПО: для заданной геометрии камеры, наклона источников и параметров вращения получаем профиль толщины по подложке. Геометрию подбираем расчётом, а на установке проверяем результат — а не наоборот.
Расчёт проверяем измерением: на приёмке сравниваем расчётный профиль толщины с измеренным по методике, согласованной с заказчиком. Это проверяется приборами и одинаково защищает обе стороны.
Из чего собирается установка напыления
Пять узлов, которые определяют результат. Наведите строку — слева покажем, за что этот узел отвечает.
Дальше уместный вопрос — «а такое вы уже строили?».
Ниже — состав работ по трём проектам из разных областей: фотоэлементы, аккумуляторы, оптика. Без выдуманных исходов и чужих рецептов: только то, что делали своими руками.
Три проекта напыления в трёх разных областях
Класс процесса один, задачи разные — сверьте состав работ со своей задачей.
Модернизация · фотоэлементы«Тетрадон»Лабораторная установка магнетронного напыления (Сколтех): поставили высоковакуумную откачку, добавили двухканальный газонапуск и контроль состава среды на масс-спектрометре, держатель 1–16 подложек, свели управление в единую АСУ ТП.
С нуля · натрий-ионные аккумуляторы«Гурами»Установка под катоды Na-ion: терморезистивное и магнетронное напыление в одной камере, двустороннее нанесение, кварцевый контроль толщины — разработка, изготовление и пусконаладка.
НИОКР · оптикаАтермальные покрытияНИОКР: анализ материалов-кандидатов, расчёт параметров плёнок, напыление и характеризация образцов, предложение состава и структуры многослойного покрытия.Что заложить в ТЗ на установку напыления
Семь пунктов, из которых складывается полноценное ТЗ. Если они прописаны, вы получите сравнимые предложения от разных подрядчиков — включая нас.
Изготавливаем и принимаем по параметрам плёнки, а не по факту сборки
Механика, вакуумные узлы и сборка — собственное производство в России, три площадки в Петербурге и области. Электроника и комплектующие — проверенные позиции из Европы и Азии; офис в Китае даёт входной контроль партии до отгрузки.
Приёмку предлагаем вести по параметрам плёнки: не «установка смонтирована», а «профиль толщины в допуске». После сдачи остаёмся: регламент ТО, расходные материалы, ремонт и постгарантийная поддержка — независимо от того, кто установку построил.
Частые вопросы про установки напыления
Строите под конкретный материал или универсальную установку?
Какую равномерность реально получить?
Можно модернизировать чужую установку напыления?
Нужен ли вам наш рецепт процесса?
Какой вакуум обеспечиваете?
Работаете по 44-ФЗ и 223-ФЗ, готовы под NDA?
От описания задачи до выведенного процесса
Расчёт идёт раньше изготовления — поэтому геометрию не приходится переделывать по факту.
Порядок сроков зависит от задачи и уточняется после расчёта.
Если процесс другой
Начать можно без ТЗ — достаточно материала, формата подложки и допуска.
Этих трёх параметров хватает, чтобы посчитать геометрию и сказать, нужна новая установка или дооснащение существующей. Дальше вопросы задаём мы — и возвращаемся с решением и сроком.
Вернёмся с решением и сроком
Отвечает Алексей Говоров, технический директор и инженер профильного направления: оценка работ, срок и, если нужно, подбор оборудования. ТЗ не обязательно, присланное не публикуем.