Поставки · вакуумные насосы
Турбомолекулярные насосы — подбор под ваш процесс
Подбираем проверенный аналог под газовую нагрузку и рабочий газ вашего процесса: считаем быстроту откачки в точке камеры, а не на фланце насоса, и проверяем партию на входе.
Проверенные аналоги под рабочий газПроверенные аналоги под рабочий газВходной контроль партии — офис в КитаеВходной контроль партии — офис в КитаеПоддержка и сервис в РоссииПоддержка и сервис в России
Что входит в подбор
01Расчёт эффективной быстроты откачки под вашу газовую нагрузку и тракт02Выбор типа узла под процесс — запылённый, реактивный, с прогревом03Согласование присоединения, форвакуума и режима работы04Входной контроль партии и поддержка после поставки
Стоимость
Расчёт под задачу
Цена зависит от типоразмера, присоединения и срока. Прайс-листа нет — считаем по вашим параметрам.
Отвечает инженер направления, не менеджер. Ответ в течение рабочего дня.
База под запрос
Точную модель называем после параметров процесса — вот что для этого нужно
Номинальная быстрота откачки из каталога почти ничего не говорит о том, какой вакуум вы получите в камере. Поэтому подбор начинается не с модели, а с шести вопросов о процессе.
| Параметр | Что уточняем | Почему это решает |
|---|---|---|
| Назначение | Класс установки и этап тракта: основная откачка камеры, откачка шлюза, дифференциальная ступень | Определяет типоразмер и схему подключения |
| Газовая нагрузка | Расход рабочего газа и десорбция со стенок — в Па·м³/с, а не в «обычно хватает» | Из неё считается рабочее давление, а не из предельного вакуума насоса |
| Рабочий газ | Аргон, азот, кислород, реактивная смесь; наличие агрессивных компонентов | Быстрота откачки и степень сжатия зависят от рода газа; реактивная смесь требует стойкого тракта |
| Тип узла | Подшипниковый или магнитный подвес, сухая или смазываемая опора, стойкость к запылению | Запылённый процесс выводит неподходящую опору из строя за несколько месяцев |
| Присоединение | Фланец и проходное сечение, длина и геометрия тракта до камеры | Проводимость тракта срезает быстроту сильнее, чем выбор модели |
| Режим работы | Непрерывный или циклический, частота циклов, прогрев, требование к времени выхода | Циклика и прогрев меняют и модель, и регламент обслуживания |
аналоги · · ·
Как читать паспорт насосаСмотрите быстроту по вашему газу и в точке камеры, а не номинал на фланце.Эффективная быстрота считается через проводимость тракта: Sэф = S·C/(S+C). При длинном или узком тракте насос с вдвое большей быстротой откачки даёт прибавку в единицы процентов — дешевле переделать тракт. Этот критерий работает и без нас: его удобно проверить на любом коммерческом предложении.
Инженерная позиция
Мы отвечаем не за насос, а за вакуум, который он даст в вашей камере.
Насос — не конечный продукт, а элемент тракта. Мы проектируем установки, в которых эти насосы стоят, поэтому подбираем их так же, как для себя: от газовой нагрузки и геометрии, а не от строки в каталоге. Если по вашим параметрам достаточно узла меньше — скажем прямо.
Говоров Алексейтехнический директор · к. т. н. · инженерные разработки и АСУ ТП
Что даём сверх поставки
Поставить узел может любой поставщик — сложность в том, чтобы он заработал в вашей установке
Четыре вещи, которых нет ни в каталоге производителя, ни у перепродавца.
Роль в установкеЧто этот узел определяетТурбомолекулярный насос задаёт рабочий вакуум под газовой нагрузкой, а значит — чистоту среды и состав остаточных газов. От этого напрямую зависят адгезия и стехиометрия плёнки: кислород и пары воды из остаточной среды уходят в слой.
Паспорт ≠ реальностьГде номинал вводит в заблуждениеБыстрота в паспорте измерена по азоту и на фланце насоса. По аргону она ниже, а через реальный тракт падает ещё. Второе место — тип опоры: узел, рассчитанный на чистый вакуум, в запылённом процессе вырабатывает в разы меньше заявленного ресурса.
Где работаетПроверено в наших установкахЭти узлы стоят в трактах откачки установок напыления и травления, которые мы проектируем и модернизируем, — в том числе в «Тетрадоне», где ставили высоковакуумную откачку. Мы видим их поведение в работе, а не только в накладной.
Замена узлаЕсли прежний поставщик недоступенПодбираем аналог под процесс, а не по совпадению строки в каталоге: сверяем быстроту по рабочему газу, присоединение и тип опоры. Партия проходит входной контроль — офис в Китае, — дальше поддержка и сервис в России.
Где это работает
Узел выбирается вместе с процессом, поэтому мы говорим о нём в контексте установки
НапылениеЗапылённая среда, реактивный газВ трактах установок магнетронного напыления важны стойкость опоры к запылению и быстрота по аргону с кислородом, а не номинал по азоту.«Тетрадон»: поставили высоковакуумную откачку, добавили двухканальный газонапуск и масс-спектрометр — тракт откачки собирали под процесс.
Травление и отжигЦиклический режим и прогревЧастые циклы шлюзования и прогрев камеры меняют требования к режиму работы и регламенту обслуживания сильнее, чем типоразмер.Здесь мы считаем время выхода на режим и согласовываем форвакуумную ступень, иначе насос работает вне расчётной области.
Частые вопросы
Что обычно спрашивают до первого разговора
Аналог или оригинал?
Если оригинал доступен и проходит по сроку — поставим оригинал. Если нет, подбираем проверенный аналог под ваш процесс и прямо говорим, в чём он отличается: по быстроте по рабочему газу, типу опоры, присоединению и ресурсу. Решение остаётся за вами, но с понятной разницей на руках.
Подойдёт ли под реактивный процесс?
Зависит не от модели, а от состава смеси и доли агрессивных компонентов. Мы уточняем рабочий газ и режим, при необходимости предлагаем стойкое исполнение тракта и уплотнений. Если процесс выведет узел из строя за год — скажем об этом до поставки.
Можно только узел, без работ?
Да. Поставка отдельным узлом — нормальный сценарий, и подбор в этом случае такой же. Если по вашим параметрам видно, что дело не в насосе, а в тракте или в режиме, — предупредим, чтобы замена не оказалась бессмысленной.
Сроки и поддержка после поставки?
Срок называем после подбора: он зависит от типоразмера и наличия. Партия проходит входной контроль в нашем офисе в Китае, консультации и сервис — в России. Работаем по 44-ФЗ и 223-ФЗ, готовы к тендерным процедурам.
Смежное
Другие узлы и классы установок, где этот насос стоит в тракте
Подбор узла
Подберём насос под ваш процесс
Пришлите параметры процесса — газовую нагрузку, рабочий газ, присоединение — или просто опишите установку словами. Вернёмся с моделью, расчётом быстроты в точке камеры, ценой и сроком. Присланное не публикуем.
Работаем по 44-ФЗ и 223-ФЗ · готовы обсуждать под NDA · торговые марки принадлежат правообладателям